通常，在VD/VOD工藝中廣泛使用的真空系統由大型多級蒸汽噴射泵系統組成。使用的蒸汽由蒸汽鍋爐提供。然而，鍋爐燒煤、油或天然氣生產蒸汽時，不但增加能量消耗而且會增大CO₂排放，污染環境。蒸汽噴射器是煉鋼工作者十分熟悉的設備，但它存在一些問題。例如，需要定期清除噴嘴系統的粉塵，延誤生產；蒸汽噴射器會產生大量富含粉塵且需處理的廢水；粉塵需要在熱水中進行沉淀，再循環后的水尚含有少量粉塵；暴露在富含腐蝕粒子水中的管道和閘閥會提前磨損等。

　　近年來，機械真空泵技術得到了飛速發展，已由第一代復合式真空泵系統、第二代爪形干式泵系統，發展到了目前現代化的第三代機械真空泵系統，它是一種將羅茨泵(用于達到所需真空度)與干式泵相結合的機械真空泵系統。對這兩種泵的工藝性能都進行了優化設計。選擇螺桿真空泵提供要求的真空度外，它還具有優良的處理粉塵的能力。為了提高系統運行的耐用性，減小外形尺寸，降低噪聲和電能消耗，對羅茨泵和螺桿泵分別進行了優化。因而，現代化的第三代機械真空泵具有極高的穩定性、可靠性，且很容易取代傳統的蒸汽噴射泵。這種機械真空泵系統已成為大規模生產的標準化產品，完全可以滿足全世界的需要。

　　三級真空系統能同時具有最高的抽氣速度和最低的能源消耗。該系統的核心點如下：

　　(1)以螺桿泵、羅茨泵的機械泵組代替傳統的蒸汽噴射泵實現RH、VD、VOD精煉。

　　(2)系統運行簡單、穩定、可靠，尤其精煉前期避免了抽真空的波動。

　　(3)能耗由蒸汽為主變為電為主，大幅度節能。