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羅茨真空泵的工作原理及特點

發(fā)布時間:2016年02月09日 09:48   閱讀:5401   返回   來源:澤德

  羅茨真空泵是一種無泵內壓縮的旋轉變容式真空泵,利用兩個轉子在泵殼中旋轉而產生吸氣和排氣作用。普通羅茨真空泵不能直接把氣體排到大氣中,必須和前級真空泵串聯使用,在配用油封式旋轉機械泵作為前級泵的情況下,羅茨真空泵的極限真空可以小于1Pa。直排大氣羅茨泵可以直接排氣到大氣中,獨特的結構使此種泵的最大允許壓差可達88kPa,既可單獨使用,也可多臺串聯使用,還可與普通羅茨泵等其他種類的泵組合使用,提高真空機組的全程抽速。

  羅茨泵的特點如下。

  (1)轉子與泵體、側蓋之問有間隙,互不接觸,無須用潤滑油,因而泵腔內容易獲得無油真空。

  (2)轉子具有良好的幾何對稱性,可以提高轉速,從而能夠制造出結構緊湊的大抽速泵來。泵的運轉也比較平穩(wěn),振動小。

  (3)在泵腔內不發(fā)生如油封式旋轉機械泵那樣的壓縮現象,因此不需要排氣閥,可以抽除可凝性蒸氣。

  (4)啟動快,能在短時間內達到極限真空,功率小,運轉維護費用低。

  (5)泵在很寬的壓力范圍內(1~1000Pa)有很大的抽速,能迅速抽除突然放出的氣體,彌補了擴散泵和油封機械泵在此范圍時抽速都很小的缺點。因此最適合作增壓泵用。

  羅茨真空泵前級泵的極限真空高低直接影響整套機組的極限真空,因此需要根據工作壓力來選擇前級泵。

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